目前，国外的CEMS大多采用烟气超声波流量计测量烟气的流速，而国内大多数采用成本较低，测量精度不高的皮托管式烟气流速仪，这对于烟气流速低、要求高的场景是不适用的。

烟气超声波流速仪又称烟气超声波流量计，适用于烟囱或烟道内烟气流量、流速的监测。烟气在线监测系统也可以监测烟气的流量流速等在内多项参数，但通常烟气在线监测系统是通过S型皮托管，采用差压法实现烟气的流速监测的，与烟气超声波流量计相比，限制因素多、精度差，稳定性不高。所以当需要精准监测烟气的流速时，目前国内的做法是采用烟气超声波流速仪监测烟气流速。

烟气流量监测的本质是烟气流速测量，根据烟气流速的测定和烟道横截面积可求得烟气的实际流量，因此烟气流量测量也称为烟气流速测量。烟气流速的测量方法有压差法、超声波法、热平衡法、声波法、靶式流量计法、光闪烁法、红外线法等。

烟气参数——温度、压力、流速、湿度的在线监测，主要目的是通过烟气各参数测量计算出标准状态下的干烟气流量，用以准确计算烟气污染物排放的实时质量浓度及排放总量。