烟气脱硝CEMS分析氮氧化物的技术主要有：a.红外光谱技术，包括非分散红外分析技术(NDIR)、气体过滤相关红外分析技术(GFC)、傅里叶变换红外光谱分析技术(FT-IR)；b.紫外光谱技术(NDUV)、紫外差分光学吸收光谱(DOAS)；c.半导体光光谱吸收法(TDLAS)；d.化学发光技术及电化学技术等。

烟气脱硝后，需要使用氮氧化物尾气在线监测系统对烟气中的氮氧化物尾气进行监测。监测NOx的常用技术是非分光红外分析技术（NDIR）、气体过滤相关红外分析技术NDIR及紫外光谱技术等。