固定污染源CEMS监测数据的全过程外部质控程序主要包括三个质量保证和质量控制阶段，即CEMS的生产和销售阶段；CEMS安装、调试和验收阶段；CEMS运行、维护和监督考核阶段。

一般CEMS烟气在线监测系统在现场安装并验收之后，就开始正式工作，在正式工作时即会对数据进行采集。CEMS监测数据可分为四类：即直出数据、有效数据、无效数据、确实数据。